[实用新型]一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板

说明书

本实用新型的比例阀阀板包括均相配合的比例阀、阀板和阀套，阀板包括相互连接的中间部分、第一弧形部分和第二弧形部分，第一弧形部分、第二弧形部分对称连接在中间部分的边缘且二者相互对接，第一弧形部分、第二弧形部分相互平行且二者边缘连接成与中间部分同心的光滑的弧形结构，位于阀板与阀套之间的间隙在第一弧形部分、第二弧形部分的边缘沿圆周方向设有若干个上下交错分布的刀刃，刀刃与第一弧形部分、第二弧形部分的夹角均为α，刀刃的角度均为β，位于刀刃的下方在第一弧形部分、第二弧形部分上分别设有若干个呈阶梯状排布的凹槽，轻松有效地去除、收集、处理阀套内壁凝固的挥发物，不影响设备运行。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，更具体地说，涉及一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板。

背景技术

EKZ2700单晶炉炉压控制的工作原理是首先，以一定的流量向单晶炉内冲入纯净的氩气，同时用真空泵向外抽走炉内的气体，以保持炉内气动的流动，并带走高温下产生的挥发物。其次，在炉体与真空泵之间的管道上安装一个可控制流量大小的比例阀，通过对比例阀开合大小的控制，控制真空泵抽出空气的流量，同时保持工艺要求的炉压。

但是目前的阀板有一定的缺陷，现在单晶产品中重金属掺杂剂产品如砷、磷等的产量越来越大。重金属掺杂剂的生产中会出现大量的挥发物凝聚的情况，具体情况时，重金属掺杂剂在高温加热后会气化，多余的掺杂剂气体随着单晶炉中的惰性保护气体被真空泵抽出单晶炉外，当掺杂剂气体在抽空管道中遇到温度低得多的比例阀阀板和阀套时会冷却凝固在阀板和阀套表面。由于原来的阀板外形粗糙浑厚，当重金属掺杂剂凝固在阀套法兰内壁上过多时，会由于阻力过大导致阀板运动到此位置时卡死。 卡死的阀板，有极大危害，首先是导致传动齿轮打滑，导致阀板的零点位置移位，无法正常的控制开启比例，导致控制失效。其次，会因为阻力过大损坏比例阀电机及控制电路。

实用新型内容

有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板，结构简单新颖、操作方便高效，能够轻松有效地去除、收集、处理阀套内壁凝固的挥发物，还不影响比例阀的控制效果，也不损伤比例阀内部的机械构件和控制电路，大大延长了使用寿命，降低了设备故障损失率，提高了生产效率。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种控制单晶炉炉室压力用的比例阀阀板，包括均相配合的比例阀、阀板和阀套，所述比例阀设有安装轴，所述阀板上沿最大直径方向贯穿设有一个与安装轴相配合的安装槽，阀板与阀套间隙设置，阀套内壁上凝聚有挥发物，所述阀板包括相互连接的中间部分、第一弧形部分和第二弧形部分，第一弧形部分、第二弧形部分对称连接在中间部分的边缘且二者相互对接，第一弧形部分、第二弧形部分相互平行且二者边缘连接成与中间部分同心的光滑的弧形结构，位于阀板与阀套之间的间隙在第一弧形部分、第二弧形部分的边缘沿圆周方向设有若干个上下交错分布的刀刃，所述刀刃与第一弧形部分、第二弧形部分的夹角均为α，刀刃的角度均为β，位于刀刃的下方在第一弧形部分、第二弧形部分上分别设有若干个呈阶梯状排布的凹槽。

进一步的，所述凹槽内可拆卸设有储杂箱，所述储杂箱采用轻质材料制成。

进一步的，所述中间部分为圆形结构，第一弧形部分、第二弧形部分的边缘连接成与中间部分同心的光滑的圆弧状结构。

进一步的，所述第一弧形部分、第二弧形部分为形状相同、弯折方向相反的弧形结构。

进一步的，所述夹角α为95°。

进一步的，所述夹角β为12°。

进一步的，所述阀板采用韧性强度高的合金工具钢制成。

进一步的，所述阀板的安装槽内对称两个设有用于固定阀板于安装轴上的螺丝孔。

进一步的，所述刀刃的个数为2个。

本实用新型的有益效果是：