[实用新型]一种通用掩模版盒有效
申请号: | 201821461009.2 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN208796016U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 朱希进;尤春;刘维维;季书凤;杨长华;薛文卿;张月圆;刘浩;陈青;刘孝君 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩模版 掩模版盒 合盖 存放盒 本实用新型 限板 通用掩模版 限位板 四边中心位置 绿色环保 防尘 防水雾 倾斜面 软铰链 限位槽 限位杆 加工 | ||
1.一种通用掩模版盒,包括掩模版盒上合盖(1),其特征在于,所述掩模版盒上合盖(1)一侧设有掩模版存放盒(2),所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)之间通过两个软铰链(3)连接,所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)上均设有5009掩模版限板(6),所述5009掩模版限板(6)分别设置于掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)的四边中心位置,每个所述5009掩模版限板(6)设有两个限位杆,所述5009掩模版限板(6)上的限位板之间设有5009掩模版限位槽(7),所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)四周均设有6025掩模版限位板(8),所述5009掩模版限板(6)内侧设有互为直角的倾斜面,四个所述5009掩模版限板(6)之间的倾斜面之间形成5009掩模版存放区(10),四个所述6025掩模版限位板(8)之间形成6025掩模版存放区(5),每个所述掩模版存放盒(2)上的6025掩模版限位板(8)内两侧各设有一个卡接槽(9),每个所述掩模版盒上合盖(1)上的6025掩模版限位板(8)内两侧各设有一个卡接柱(4),所述卡接柱(4)卡接于卡接槽(9)上,所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)通过卡接柱(4)和卡接槽(9)互相连接。
2.根据权利要求1所述一种通用掩模版盒,其特征在于,所述软铰链(3)为软质韧性橡胶材质制成。
3.根据权利要求1所述一种通用掩模版盒,其特征在于,所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)的相接处设有乳胶封边。
4.根据权利要求1所述一种通用掩模版盒,其特征在于,所述掩模版盒上合盖(1)和掩模版存放盒(2)均采用PVE环保材质制成。
5.根据权利要求1所述一种通用掩模版盒,其特征在于,所述卡接柱(4)为橡胶材质制成的圆柱体,所述卡接槽(9)内部的槽的体积与卡接柱(4)相同。
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- 郑宸雅;萧芝岳 - 华邦电子股份有限公司
- 2016-01-22 - 2016-08-31 - G03F1/66
- 本实用新型提供一种光罩盒,其包括上盖以及底座。底座位于上盖的相对侧且包括多个支撑架与多个限位件。限位件位于光罩盒的三侧。支撑架适于支撑光罩,且光罩位于支撑架与上盖之间。光罩适于以第一摆设方向或由第一摆设方向转90度的第二摆设方向配置于支撑架上。在第一摆设方向以及第二摆设方向下,支撑架皆位于光罩的多个周边区的下方,且支撑架的边缘不超出周边区。本实用新型提供的光罩盒具有改良的支撑架配置,可避免因光罩的摆设方向不同而损害光罩。
- 防尘薄膜组件收纳容器-201610022706.7
- 関原一敏 - 信越化学工业株式会社
- 2016-01-14 - 2016-07-27 - G03F1/66
- 提供一种在运送未使用分离片的防尘薄膜组件时掩模粘着层不发生损伤等的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器是包括收纳未使用保护掩模粘着层(22)的分离片的矩形防尘薄膜组件的防尘薄膜组件(20)收纳容器本体、嵌合于所述防尘薄膜组件收纳容器本体(20)中的密闭的盖体(17)的防尘薄膜组件收纳容器,其特点是,在上述防尘薄膜组件收纳容器本体(11)上设置外侧高起的阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12),防尘薄膜组件框架的掩模粘着层未涂布区域(23)支承在阶梯状防尘薄膜组件框架支承装置(12)的低阶梯部上。
- 兼容式掩模版上下料用花篮-201420177506.5
- 陈友篷;杨晨 - 无锡中微掩模电子有限公司
- 2014-04-11 - 2014-08-20 - G03F1/66
- 本实用新型涉及一种兼容式掩模版上下料用花篮,所述兼容式掩模版上下料用花篮,包括花篮架;所述花篮架内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座,所述掩模版支撑座对称分布在花篮架内;所述掩模版支撑座包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶;第三支撑台阶的底端位于第二支撑台阶的顶端,第二支撑台阶的顶端位于第一支撑台阶的顶端。本实用新型结构简单紧凑,使用方便,满足了不同尺寸掩模版的上下料要求,满足机械手臂的传输要求,降低了掩模频繁接触的风险,适应范围广,安全可靠。
- 光罩盒结构-201320883992.8
- 萧芝岳;郑宸雅 - 华邦电子股份有限公司
- 2013-12-30 - 2014-07-09 - G03F1/66
- 本实用新型提供了一种光罩盒结构,包括一底座及一上盖。底座承载一光罩,并且具有多个第一抵挡元件。光罩抵接于多个第一抵挡元件之间。每一第一抵挡元件具有一勾形部及一强化部。强化部成型于勾形部之中。上盖连接于底座,并且具有多个定位部。当上盖盖合于底座之上时,多个定位部抵接固定光罩。本实用新型改善了底座的抵挡元件的结构强度,能有效防止光罩发生损坏。
- 一种菲林存放装置-201420002444.4
- 谢天荣;黄朝安;夏甜甜;邱为根 - 深圳市兴达线路板有限公司
- 2014-01-01 - 2014-06-18 - G03F1/66
- 本实用新型公开了一种菲林存放装置,包括:支撑架、支撑底座、转动装置、用于装载菲林的菲林袋,所述支撑架立置于所述支撑底座上,所述转动装置以所述支撑架为转动轴,所述菲林袋一端与所述支撑架连接,另一端与所述转动装置连接,其可跟随所述转动装置绕所述支撑架转动。采用本实用新型,可以避免现有技术中取用菲林拖拽时对其造成损坏;另外,采用数字操控盘与二极管相结合的方式标示菲林的存放位置,可以方便地查找菲林,提高了工作效率。
- 专利分类
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备