[实用新型]一种真空蒸发设备冷却系统有效
申请号: | 201821460539.5 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN209010591U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 魏滨 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 孟德栋 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种真空蒸发设备冷却系统,一种真空蒸发设备冷却系统,包括多个冷却管组件,相邻两个所述冷却管组件通过管路相连通;所述冷却管组件包括多个冷却管和用于将所述冷却管安装在真空蒸发设备上的安装机构,所述冷却管内填装有冷却液体,多个所述冷却管间隔布设,且相邻两个冷却管相连通,其中,每个所述冷却管均具有与所述真空蒸发设备相贴合的冷却表面。本实用新型将冷却管设计为具有与所述真空蒸发设备相贴合的冷却表面,加大冷却面积,并且设有有个冷却管组件,且相邻的冷却管组件相连通,可以进一步加大冷却面积,大大提升了冷却系统的冷却效率。 | ||
搜索关键词: | 冷却管 真空蒸发设备 冷却管组件 冷却系统 本实用新型 冷却表面 贴合 冷却 安装机构 间隔布设 冷却效率 冷却液体 | ||
【主权项】:
1.一种真空蒸发设备冷却系统,其特征在于,包括多个冷却管组件,相邻两个所述冷却管组件通过管路相连通;所述冷却管组件包括多个冷却管和用于将所述冷却管安装在真空蒸发设备上的安装机构,所述冷却管内填装有冷却液体,多个所述冷却管间隔布设,且相邻两个冷却管相连通,其中,每个所述冷却管均具有与所述真空蒸发设备相贴合的冷却表面。
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