[实用新型]研磨液输送单元及化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201821458020.3 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN209021758U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郭松辉;沈新林;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨液输送单元及化学机械研磨系统，所述研磨液输送单元包含进液管路、第一过滤装置以及用于向进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第一超声装置，第一过滤装置和第一超声装置均安装于进液管路上；进液管路一端作为研磨液输入端，其另一端作为研磨液输出端；第一超声装置位于研磨液输入端与第一过滤装置之间。本实用新型具有减少研磨液结晶的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 研磨液输送 超声装置 过滤装置 进液管路 化学机械研磨系统 本实用新型 输入端 超声波 进液管 输出端 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液输送单元，其特征在于，包含：进液管路、第一过滤装置以及用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第一超声装置；所述第一过滤装置和第一超声装置均安装于所述进液管路上；所述进液管路一端作为研磨液输入端，其另一端作为研磨液输出端；所述第一超声装置位于所述研磨液输入端与所述第一过滤装置之间。
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