[实用新型]研磨液输送单元及化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201821458020.3 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN209021758U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郭松辉;沈新林;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨液 研磨液输送 超声装置 过滤装置 进液管路 化学机械研磨系统 本实用新型 输入端 超声波 进液管 输出端 | ||
1.一种研磨液输送单元，其特征在于，包含：进液管路、第一过滤装置以及用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第一超声装置；所述第一过滤装置和第一超声装置均安装于所述进液管路上；所述进液管路一端作为研磨液输入端，其另一端作为研磨液输出端；所述第一超声装置位于所述研磨液输入端与所述第一过滤装置之间。
2.如权利要求1所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：流量控制器，所述流量控制器安装于所述进液管路上。
3.如权利要求2所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：回液管路、研磨液供应系统、阀箱以及设置在所述阀箱内部的三通阀；所述回液管路一端连接所述研磨液供应系统，所述回液管路另一端连接所述三通阀；所述第一超声装置位于所述研磨液供应系统与阀箱之间。
4.如权利要求3所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第二超声装置，安装于所述进液管路上，且所述第二超声装置位于所述阀箱与所述流量控制器之间。
5.如权利要求4所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第三超声装置，安装于所述进液管路上，且所述第三超声装置位于所述流量控制器与所述第一过滤装置之间。
6.如权利要求3所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：第二过滤装置，安装于所述进液管路上，且所述第二过滤装置位于所述阀箱与所述流量控制器之间。
7.如权利要求6所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第二超声装置，安装于所述进液管路上，且所述第二超声装置位于所述阀箱与所述第二过滤装置之间。
8.如权利要求7所述的研磨液输送单元，其特征在于，还包含：用于向所述进液管路中提供超声波以减少研磨液结晶的第三超声装置，安装于所述进液管路上，且所述第三超声装置位于所述流量控制器与所述第一过滤装置之间。
9.如权利要求5或8所述的研磨液输送单元，其特征在于，所述第一至第三超声装置产生的超声波频率范围为20KHz～50KHz。
10.一种化学机械研磨系统，其特征在于，包含：研磨液供给源、用于对所述研磨液供给源流出的研磨液提供液压的液压泵、机台和如权利要求1～9中任意一项所述的研磨液输送单元；所述液压泵分别与所述研磨液供给源和所述研磨液输送单元的研磨液供应系统连接；所述机台与所述研磨液输送单元的进液管路的研磨液输出端连接。
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