[实用新型]用于承载基板的承载件及用于处理基板的处理系统有效

专利信息
申请号: 201821435599.1 申请日: 2018-08-31
公开(公告)号: CN209030512U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 陆声访;洪永昌;陈金仕 申请(专利权)人: 奥特斯科技(重庆)有限公司
主分类号: H05K13/04 分类号: H05K13/04;H05K3/30
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 李丙林;王晖
地址: 401133 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 提供了用于承载基板的承载件。承载件包括:承载件本体,该承载件本体包括用于容纳基板的承载件袋状部;和支撑框架,该支撑框架具有形成在承载件袋状部内以支撑基板的支撑表面,其中,支撑表面布置在具有法线的支撑平面内。承载件本体包括围绕承载件袋状部的相应的边缘。承载件还包括至少一个保持突起,该至少一个保持凸起形成在至少一个边缘上,使得保持突起的与支撑表面接触的底部部分具有与支撑平面的法线平行的延伸部,并且保持突起的与支撑表面间隔开的开口部分具有相对于支撑平面的法线经斜切的延伸部。还提供了用于处理基板的处理系统。
搜索关键词: 承载件 支撑表面 法线 支撑平面 袋状部 突起 承载基板 处理基板 处理系统 支撑框架 延伸部 斜切 支撑基板 基板 凸起 开口 平行 容纳
【主权项】:
1.一种用于承载基板(105)的承载件(100),其特征在于,所述承载件(100)包括:承载件本体(101),所述承载件本体包括用于容纳基板(105)的承载件袋状部(102),支撑框架(103),所述支撑框架具有形成在所述承载件袋状部(102)内以支撑所述基板(105)的支撑表面(104),其中,所述支撑表面(104)布置在具有法线(n)的支撑平面内,其中,所述承载件本体(101)包括围绕所述承载件袋状部(102)的相应的边缘(106),至少一个保持突起(107),所述至少一个保持突起形成在所述边缘(106)中的至少一个边缘上,使得所述保持突起(107)的与所述支撑表面(104)接触的底部部分(108)具有与所述支撑平面的所述法线(n)平行的延伸部,并且所述保持突起(107)的与所述支撑表面(104)间隔开的开口部分(109)具有相对于所述支撑平面的所述法线(n)经斜切的延伸部。
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