[实用新型]用于承载基板的承载件及用于处理基板的处理系统

权利要求书

1.一种用于承载基板(105)的承载件(100)，其特征在于，所述承载件(100)包括：

承载件本体(101)，所述承载件本体包括用于容纳基板(105)的承载件袋状部(102)，

支撑框架(103)，所述支撑框架具有形成在所述承载件袋状部(102)内以支撑所述基板(105)的支撑表面(104)，其中，所述支撑表面(104)布置在具有法线(n)的支撑平面内，

其中，所述承载件本体(101)包括围绕所述承载件袋状部(102)的相应的边缘(106)，

至少一个保持突起(107)，所述至少一个保持突起形成在所述边缘(106)中的至少一个边缘上，使得所述保持突起(107)的与所述支撑表面(104)接触的底部部分(108)具有与所述支撑平面的所述法线(n)平行的延伸部，并且所述保持突起(107)的与所述支撑表面(104)间隔开的开口部分(109)具有相对于所述支撑平面的所述法线(n)经斜切的延伸部。

2.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述支撑表面(104)被特氟隆覆盖。

3.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述底部部分的高度(a)为0.5mm。

4.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述开口部分(109)的高度(b)为1mm。

5.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，经斜切的开口部分(109)的表面相对于所述支撑平面的所述法线(n)呈在20°至70°之间的角度(α)。

6.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述支撑框架(103)围绕所述承载件袋状部(102)。

7.根据权利要求6所述的承载件(100)，其特征在于，所述支撑表面(104)的在中央开口与所述承载件本体(101)的边缘(106)之间的宽度(c)为3.2mm。

8.根据权利要求6所述的承载件(100)，其特征在于，中央开口具有32mm的长度(l)和16mm的宽度(w)。

9.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述保持突起(107)围绕所述承载件袋状部(102)形成在所述承载件本体(101)的角部处，使得所述保持突起(107)形成L形。

10.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述保持突起(107)围绕所述承载件袋状部(102)沿所述承载件本体(101)的所有边缘(106)形成，

其中，在所述承载件本体(101)的角部处，在所述保持突起(107)中形成空隙(701)。

11.根据权利要求1所述的承载件(100)，其特征在于，所述保持突起(107)被分成多个保持突起元件(501)，所述多个保持突起元件被布置成围绕所述承载件袋状部(102)沿所述承载件本体(101)的所述边缘(106)彼此间隔开。

12.一种用于处理基板(105)的处理系统(110)，其特征在于，所述处理系统(110)包括：

根据权利要求1所述的承载件(100)，

处理装置头部(111)，所述处理装置头部被配置成通过负压选择性地保持基板(105)，

其中，所述处理装置头部(111)被配置成将所述基板(105)布置在所述承载件袋状部(102)上方并将所述基板(105)放入所述承载件袋状部(102)中。

13.根据权利要求12所述的处理系统(110)，其特征在于，所述处理系统(110)还包括：

对准传感器(801)，所述对准传感器被配置成确定基板(105)在所述承载件袋状部(102)内的对准。