专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于曝光机的板件的保持装置-CN201810170069.7有效
  • 曹韦翎;许建郎 - 奥特斯科技(重庆)有限公司
  • 2018-03-01 - 2021-09-24 - G03F7/20
  • 本发明涉及用于曝光机的板件的保持装置,并且特别涉及用于保持形成部件承载件(110)的层堆叠体的装置(100)。该装置包括真空板(101)和用于将芯层(111)夹持到真空板(101)的夹持装置(104)。在真空板(101)与芯层(111)之间可布置至少一个加强层(112)。真空板(101)包括支撑部分(102)和固定部分(103),芯层(111)可布置在该支撑部分上,该固定部分用于通过夹持装置(104)将真空板(101)固定到保持框架。该装置还包括布置在夹持装置(104)和真空板(101)的固定部分(103)之间的密封元件(105),其中,该密封元件(105)与真空板(101)的支撑部分(102)间隔开,使得在密封元件(105)和支撑部分(102)之间形成沟槽(106)。
  • 用于曝光保持装置
  • [发明专利]用于处理载板件的托盘装置-CN201810187995.5有效
  • 聂灿勋;赵骄阳;黄明军;克里斯托弗·卡茨科 - 奥特斯科技(重庆)有限公司
  • 2018-03-07 - 2021-09-03 - B65D19/26
  • 一种用于在制造部件承载件期间处理载板件(102)的托盘装置(100),其中托盘装置(100)包括:支撑体(104),该支撑体限定用于容纳至少一个载板件(102)的容纳空间(106);在支撑体(104)的顶侧(152)处的第一连接元件(108);以及在支撑体(104)的底侧(154)处的第二连接元件(110);其中,第一连接元件(108)被构造成与在待与托盘装置(100)进行堆叠的另外的托盘装置(100’)特别是相同的托盘装置的底侧处的对应连接元件(110)形成形封闭;其中,第二连接元件(110)被构造成与在待与托盘装置(100)进行堆叠的另一托盘装置(100’)特别是相同的托盘装置的顶侧处的对应的另一连接元件(108)形成形封闭;并且其中,第一连接元件(108)和第二连接元件(110)与支撑体(104)的侧向侧壁(112)横向地间隔开。
  • 用于处理载板件托盘装置

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