[实用新型]定位辅助装置及定位系统有效
| 申请号： | 201821386090.2 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN208637402U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 雷水德;曾庆礼;高宜江;徐咏涛 | 申请（专利权）人： | 苏州德睿联自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区建林路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种定位辅助装置，包括载台、光源及遮光组件，载台用于托置玻璃基板，光源设置在玻璃基板下方，用于发射光束，遮光组件包括一遮光板，遮光板包括第一侧边，遮光板可活动的向玻璃基板方向运动，并使得第一侧边抵触玻璃基板，遮光板遮挡光束，所述的第一侧边形成基准边，从而不再需要调整玻璃基板的位置，一方面使得形成基准位置更快，另一方面避免调整玻璃基板导致玻璃基板的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 遮光板 侧边 定位辅助装置 遮光组件 载台 本实用新型 定位系统 发射光束 光源设置 基准位置 基准边 可活动 光源 遮挡 损伤 抵触 | ||
【主权项】：
1.一种定位辅助装置，包括载台、光源及遮光组件，其特征在于，所述的载台用于托置玻璃基板，所述的光源设置在玻璃基板下方，用于发射光束，所述的遮光组件包括一遮光板，所述的遮光板包括第一侧边，所述的遮光板可活动的向玻璃基板方向运动，并使得第一侧边抵触玻璃基板，所述的遮光板遮挡光束，所述的第一侧边形成基准边。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
