[实用新型]定位辅助装置及定位系统有效
| 申请号: | 201821386090.2 | 申请日: | 2018-08-27 |
| 公开(公告)号: | CN208637402U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
| 发明(设计)人: | 雷水德;曾庆礼;高宜江;徐咏涛 | 申请(专利权)人: | 苏州德睿联自动化科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市高新区建林路*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃基板 遮光板 侧边 定位辅助装置 遮光组件 载台 本实用新型 定位系统 发射光束 光源设置 基准位置 基准边 可活动 光源 遮挡 损伤 抵触 | ||
1.一种定位辅助装置,包括载台、光源及遮光组件,其特征在于,所述的载台用于托置玻璃基板,所述的光源设置在玻璃基板下方,用于发射光束,所述的遮光组件包括一遮光板,所述的遮光板包括第一侧边,所述的遮光板可活动的向玻璃基板方向运动,并使得第一侧边抵触玻璃基板,所述的遮光板遮挡光束,所述的第一侧边形成基准边。
2.如权利要求1所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的载台包括多个托置带,所述的多个托置带平行间隔设置。
3.如权利要求2所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的光源为平板光源。
4.如权利要求3所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的遮光组件还包括一位移组件,所述的遮光板与位移组件连接,用于使得所述的遮光板活动的向玻璃基板方向移动。
5.如权利要求4所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的位移组件包括第一位移装置,所述的第一位移装置包括第一驱动装置及与第一驱动装置连接的第一滑板,所述的第一驱动装置驱动所述的第一滑板沿第一方向运动,所述的第一方向为靠近玻璃基板的方向,所述的遮光板设置在所述的第一滑板上。
6.如权利要求5所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的位移组件还包括第二位移装置,所述的第二位移装置包括第二驱动装置及与第二驱动装置连接的第二滑板,所述的第二驱动装置驱动所述的第二滑板沿第二方向运动,所述的第二方向为竖直方向,所述的第一位移装置设置在第二滑板上。
7.如权利要求6所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的遮光板与第一滑板之间还设置有支座,所述的遮光板转动的设置在支座上。
8.如权利要求7所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的支座上还设置有限位板。
9.如权利要求8所述的定位辅助装置,其特征在于,所述的遮光板还包括减震条,所述的第一侧边设置在减震条上。
10.一种定位系统,其特征在于,所述的定位系统包括如权利要求1-9中任一权利要求所述的定位辅助装置及相机,所述的相机设置在遮光板上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





