[实用新型]一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件有效
申请号: | 201821385469.1 | 申请日: | 2018-08-27 |
公开(公告)号: | CN208606927U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 王刚;段九勋;梁波 | 申请(专利权)人: | 麦克传感器股份有限公司西安分公司 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710118 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,包括中心开设有硅油主通道的壳体,壳体在硅油主通道的一端开槽并安装有绝缘垫片,硅油主通道两侧的壳体上开设有硅油副通道,正对硅油主通道的绝缘垫片上安装硅压敏芯片,正对硅油副通道的绝缘垫片上开孔并装入引线,引线通过绝缘端子固定在硅油副通道内部,引线与硅压敏芯片通过导线连接;所述壳体的两端分别为正、负压腔,在正、负压腔的端面上设置有用以配合硅油的波纹膜片。壳体上开设有与硅油主通道以及硅油副通道相贯通的充油孔,在充油孔上安装销钉封堵。本实用新型能更好地满足对安装空间及重量有要求的特殊应用场合,被测介质压力测量较为精准。 | ||
搜索关键词: | 硅油 主通道 壳体 副通道 绝缘垫片 测量差压信号 压力敏感元件 充油孔 负压腔 硅压 正对 芯片 本实用新型 安装空间 被测介质 波纹膜片 导线连接 绝缘端子 压力测量 上开孔 封堵 开槽 销钉 装入 贯通 配合 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量差压信号的小型化压力敏感元件,其特征在于:包括中心开设有硅油主通道的壳体(1),壳体(1)在硅油主通道的一端开槽并安装有绝缘垫片(7),硅油主通道两侧的壳体(1)上开设有硅油副通道,正对硅油主通道的绝缘垫片(7)上安装硅压敏芯片(9),正对硅油副通道的绝缘垫片(7)上开孔并装入引线(5),引线(5)通过绝缘端子(6)固定在硅油副通道内部,引线(5)与硅压敏芯片(9)通过导线(8)连接;所述壳体(1)的两端分别为正、负压腔,在正、负压腔的端面上设置有用以配合硅油的波纹膜片(2)。
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