[实用新型]钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备，钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其中，钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于固定端的中线上，固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与固定槽两侧；螺孔，设置于底座上对应固定槽的位置；一对销孔，设置与底座上对应固定销孔的位置；螺栓，以头部卡滞台阶，穿过固定槽后连接螺孔；一对定位销，分别穿过对应的固定销孔连接对应的销孔。本实用新型的有益效果在于，减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本。

主权项

1.一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其特征在于，所述钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于所述固定端的中线上，所述固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与所述固定槽两侧；一螺孔，设置于所述底座上对应所述固定槽的位置；一对销孔，设置与所述底座上对应所述固定销孔的位置；一螺栓，以头部卡滞所述台阶，穿过所述固定槽后连接所述螺孔；一对定位销，分别穿过对应的所述固定销孔连接对应的所述销孔。