[实用新型]钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备

说明书

本实用新型涉及钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备，钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其中，钟摆盘包括：固定端，固定槽，纵向设置于固定端的中线上，固定槽两侧槽壁上设置有台阶；一对固定销孔，设置与固定槽两侧；螺孔，设置于底座上对应固定槽的位置；一对销孔，设置与底座上对应固定销孔的位置；螺栓，以头部卡滞台阶，穿过固定槽后连接螺孔；一对定位销，分别穿过对应的固定销孔连接对应的销孔。本实用新型的有益效果在于，减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种用于干法刻蚀设备的压力控制系统中的钟摆盘固定结构。

背景技术

在半导体干法刻蚀设备压力控制系统中，钟摆盘一直处于长时间的工作状态，钟摆盘的固定难免会出现偏移、宕机等情况。

现有技术中的压力控制系统的钟摆盘的固定结构非常简单，仅通过一个螺帽锁紧的方式固定。即存在钟摆盘的偏移、宕机等问题，不仅会给产品品质带来较高风险，而且增加了维护成本。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，现提供一种旨在减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本的钟摆盘固定结构及其压力控制系统及其干法刻蚀设备。

具体技术方案如下：

一种钟摆盘固定结构，用于干法刻蚀设备压力控制系统中，包括底座和钟摆盘，其中，钟摆盘包括：

固定端，

固定槽，纵向设置于固定端的中线上，固定槽两侧槽壁上设置有台阶；

一对固定销孔，设置与固定槽两侧；

螺孔，设置于底座上对应固定槽的位置；

一对销孔，设置与底座上对应固定销孔的位置；

螺栓，以头部卡滞台阶，穿过固定槽后连接螺孔；

一对定位销，分别穿过对应的固定销孔连接对应的销孔。

优选的，钟摆盘固定结构，其中，螺栓和一对定位销的中心点的连线构成一个等腰三角形。

优选的，钟摆盘固定结构，其中，螺栓头部顶面与固定槽表面齐平。

优选的，钟摆盘固定结构，其中，钟摆盘包括摆动部，摆动部成圆形，并连接固定端。

优选的，钟摆盘固定结构，其中，摆动部与固定端一体成型。

优选的，钟摆盘固定结构，其中，固定槽的中线与摆动部直径的延长线重合。

一种压力控制系统，用于干法刻蚀设备，其中，包括上述任一钟摆盘固定结构。

一种干法刻蚀设备，其中，包括上述压力控制系统。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：减少钟摆盘运动过程中位置偏移，提高钟摆盘的定位精度，减少宕机，提高机台的利用率，降低生产和维护成本。

附图说明

图1为本实用新型钟摆盘固定结构的实施例的钟摆盘的俯视图；

图2为本实用新型钟摆盘固定结构的实施例的钟摆盘与底座固定连接结构的示意图；

图3为本实用新型一钟摆盘固定结构的实施例的连接端的剖面视图。

附图标记：1、底座；2、钟摆盘；21、摆动部；3、固定端；4、固定槽；41、台阶；5、固定销孔；6、螺栓；7、固定销。

具体实施方式