[实用新型]激光掺杂选择性发射极太阳能电池的正面电极网版结构有效
申请号: | 201821232145.4 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN208460736U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 王举亮;郭永刚;刘军保;倪玉凤;张婷 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;国家电投集团西安太阳能电力有限公司西宁分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;黄河水电光伏产业技术有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L31/0224;H01L31/18;B41C1/14;B41F15/36 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种激光掺杂选择性发射极太阳能电池的正面电极网版结构,通过在太阳能电池的正面的激光掺杂的重掺杂区形成有若干第一Mark点,在正面电极网版结构上的主栅线设置若干第二Mark点,且所述若干第二Mark点与所述若干第一Mark点一一对应;通过所述若干第二Mark点与所述若干第一Mark点一一对应实现该正面电极网版结构与太阳能电池的对准,使所述若干副栅线与所述太阳能电池的激光掺杂的重掺区对应;从而使得在丝网印刷制备电极的过程中,在太阳能电池的正面印刷的副栅线刚好设置在太阳能电池的激光掺杂的重掺区,使得副栅线与重掺杂区形成欧姆接触,以提高晶硅太阳能电池的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 激光掺杂 正面电极 网版 副栅线 选择性发射极太阳能电池 重掺杂区 晶硅太阳能电池 本实用新型 欧姆接触 丝网印刷 正面印刷 转换效率 电极 主栅线 制备 对准 | ||
【主权项】:
1.一种激光掺杂选择性发射极太阳能电池的正面电极网版结构,其特征在于,该正面电极网版结构用于在丝网印刷电极时设置在太阳能电池的正面作为正面电极的掩膜板,其中所述太阳能电池的正面的激光掺杂的重掺杂区形成有若干第一Mark点;该正面电极网版结构包括网框,该网框内设置有网布,该网布上设置有:若干主栅线、若干副栅线、若干防EL断栅结构以及若干第二Mark点;所述若干主栅线之间相互平行,所述若干副栅线之间相互平行,且所述若干主栅线与所述若干副栅线相互垂直;所述若干副栅线与所述太阳能电池的正面的激光掺杂的重掺杂区对应;每根主栅线均为实心或镂空的多边形结构;每排防EL断栅结构包括若干间隔设置在副栅线之间的防EL断栅段,且防EL断栅段与副栅线垂直,并且防EL断栅结构之间相互平行;所述若干第二Mark点设置在主栅线上,且所述若干第二Mark点与所述若干第一Mark点一一对应;通过所述若干第二Mark点与所述若干第一Mark点一一对应实现该正面电极网版结构与太阳能电池的对准,使所述若干副栅线与所述太阳能电池的激光掺杂的重掺区对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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