[实用新型]一种多晶硅还原炉电极结构有效

专利信息
申请号: 201821204421.6 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN208561705U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 王东京;惠泽;盛斌 申请(专利权)人: 江苏双良新能源装备有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021;C01B33/035
代理公司: 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 代理人: 隋玲玲
地址: 214444 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种多晶硅还原炉电极结构,包括电极体,所述电极体安装在还原炉底盘内,所述电极体和还原炉底盘之间设有电极绝缘套,所述电极绝缘套与电极体套接且紧密贴合,所述电极体还套接有绝缘环,所述绝缘环位于电极绝缘套的上方,所述绝缘环安装在上凸缘下方,所述上凸缘与绝缘环上端面之间设有上垫片,所述绝缘环下端面与还原炉底盘的上端面之间设有下垫片。本实用新型结构简单,大大提高绝缘套使用寿命,减少电极清理死区,提高多晶硅品质;同时又能在底盘中使用高温水,而后对底盘水进行“闪蒸”余热回收,达到综合节能降耗效果。
搜索关键词: 电极体 绝缘环 电极绝缘套 还原炉底盘 多晶硅还原炉 本实用新型 电极结构 上端面 上凸缘 底盘 套接 节能降耗 紧密贴合 使用寿命 余热回收 电极 多晶硅 高温水 绝缘套 上垫片 下垫片 下端面 闪蒸 死区
【主权项】:
1.一种多晶硅还原炉电极结构,其特征在于:包括电极体(1),所述电极体(1)安装在还原炉底盘(2)内,所述电极体(1)和还原炉底盘(2)之间设有电极绝缘套(3),所述电极绝缘套(3)与电极体(1)套接且紧密贴合,所述电极体(1)还套接有绝缘环(4),所述绝缘环(4)位于电极绝缘套(3)的上方,所述电极体(1)设有上凸缘(5)和下凸缘,所述绝缘环(4)安装在上凸缘(5)下方,所述上凸缘(5)与绝缘环(4)上端面之间设有上垫片(6),所述绝缘环(4)下端面与还原炉底盘(2)的上端面之间设有下垫片(7),所述绝缘环(4)下端面设有环形凸起(8),所述环形凸起(8)伸入电极绝缘套(3)与还原炉底盘(2)顶部之间,所述电极绝缘套(3)对应下凸缘设有台阶,所述台阶内外分别配装内氟橡胶垫片(9)和外氟橡胶垫片(10)。
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