[实用新型]TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层有效
申请号: | 201821178966.4 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN209906871U | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 王昆仑;辛艳青;杨田林;宋淑梅;孙珲 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
代理公司: | 37202 威海科星专利事务所 | 代理人: | 于涛 |
地址: | 264209 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涂层材料领域,具体是一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层,在高速钢基体表面设有TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜,其中,TiAlN与CrAlSiN交替沉积形成TiAlN/CrAlSiN薄膜,TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜,在调制周期为:TiAlN为10‑20nm,CrAlSiN为20‑30nm时,实现超晶格结构。该涂层总厚度在1.5‑5μm,硬度可达44.88GPa,附着力可达80.60N,摩擦系数为0.316,且断面组织无柱状晶、耐摩擦、耐腐蚀、抗氧化能力强、延展性好,可用于制备切削刀具保护涂层,提升其工作性能,延长使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 金属过渡层 纳米尺度 附着力 延长使用寿命 延展性 本实用新型 超晶格结构 高速钢基体 抗氧化能力 纳米多层膜 调制周期 断面组织 多层涂层 工作性能 交替沉积 摩擦系数 纳米复合 切削刀具 涂层表面 涂层材料 超晶格 耐腐蚀 耐摩擦 可用 无柱 沉积 制备 | ||
【主权项】:
1.一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层,在高速钢基体表面设有TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜,其中,TiAlN与CrAlSiN交替沉积形成TiAlN/CrAlSiN薄膜,TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜。/n
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