[实用新型]TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层有效
| 申请号： | 201821178966.4 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN209906871U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王昆仑;辛艳青;杨田林;宋淑梅;孙珲 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 37202 威海科星专利事务所 | 代理人： | 于涛 |
| 地址： | 264209 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 金属过渡层 纳米尺度 附着力 延长使用寿命 延展性 本实用新型 超晶格结构 高速钢基体 抗氧化能力 纳米多层膜 调制周期 断面组织 多层涂层 工作性能 交替沉积 摩擦系数 纳米复合 切削刀具 涂层表面 涂层材料 超晶格 耐腐蚀 耐摩擦 可用 无柱 沉积 制备 | ||
【权利要求书】：
1.一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，在高速钢基体表面设有TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜，其中，TiAlN与CrAlSiN交替沉积形成TiAlN/CrAlSiN薄膜，TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜。
2.根据权利要求1所述的一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，其特征在于TiAlN厚度为10-20nm，CrAlSiN厚度为20-30nm，涂层总厚度为1.5-5μm，总周期层数为70-120层。
3.根据权利要求1所述的一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，其特征在于沉积TiAl金属过渡层，厚度为150nm。
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