[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821140259.6 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN208667830U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张冲 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 陈宙 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括旋转部件、位于真空腔体内的第一加热器和第二加热器，所述第二加热器连接于第一加热器的一侧，所述第一加热器和所述第二加热器位于不同的平面上，所述第一加热器与第二加热器之间形成用于容纳待加热物体的空间，所述旋转部件用于带动所述第一加热器和第二加热器旋转。一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 第一加热器 待加热物体 旋转部件 蒸镀装置 温差 容纳 本实用新型 薄膜生长 边缘位置 不易形变 上下表面 真空腔 侧边 储热 加热 体内 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。
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