[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821140259.6 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN208667830U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张冲 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 陈宙 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 第一加热器 待加热物体 旋转部件 蒸镀装置 温差 容纳 本实用新型 薄膜生长 边缘位置 不易形变 上下表面 真空腔 侧边 储热 加热 体内 扩散 | ||
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)通过侧边连接，所述第二加热器(32)的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二加热器(32)的数量为四块，四块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的周围。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，各个相邻的所述第二加热器(32)的边缘依次连接。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二加热器(32)呈圆形。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热器(31)与所述第二加热器(32)的夹角为45-135°。
7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)、第二加热器(32)以及位于所述第一加热器(31)下方的待加热物体(2)一起旋转。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括位于所述待加热物体(2)表面的测温元件(5)，所述测温元件(5)用于检测所述待加热物体(2)表面的温度。
9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括位于真空腔体内的挡板(4)和位于所述真空腔体下方的蒸发源，所述挡板(4)位于所述第一加热器(31)和第二加热器(32)下方，并能够沿着水平方向往复移动，用于开启或者关闭所述蒸发源与所述待加热物体(2)之间的通道。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源的数量为多个，多个所述蒸发源呈圆形均匀分布在所述真空腔体下方。
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