[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括旋转部件、位于真空腔体内的第一加热器和第二加热器，所述第二加热器连接于第一加热器的一侧，所述第一加热器和所述第二加热器位于不同的平面上，所述第一加热器与第二加热器之间形成用于容纳待加热物体的空间，所述旋转部件用于带动所述第一加热器和第二加热器旋转。一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。

技术领域

本实用新型涉及光伏组件技术领域，特别是指一种蒸镀装置。

背景技术

CIGS(CuIn_xGa_(1-x)Se₂，铜铟镓硒)薄膜太阳电池具有稳定性好、光电转换效率高、弱光性能好等优点，因而日益受到产业界的青睐。CIGS薄膜太阳电池作为整个电池中最关键的功能层，其吸收层材料一般选择在真空条件下采用蒸发或磁控溅射法沉积。

在使用钠钙玻璃作为支撑整个电池结构的衬底时，尤其在采用较为普遍的三步共蒸发工艺制备CIGS吸收层的过程中，衬底温度对薄膜结晶质量有重要影响。一方面，如果衬底温度太低，薄膜晶粒小，导致晶界增大，会形成较多的复合中心，影响载流子收集，同时过低的温度也会导致衬底中的碱金属(主要是Na)元素很难进入吸收层，从而起不到改善薄膜结晶质量、增加载流子浓度的作用；另一方面，如果衬底温度太高，玻璃衬底的四周易向低温区弯折，进而影响薄膜厚度及组分的均匀性，同时也对后续缓冲层、透明导电层及金属电极的沉积产生不利影响。因此，玻璃衬底的温度控制在整个制备工艺中是至关重要的。

在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

当前实验室或产业化范围内，一般将加热器位于样品的正上方，为了保证加热均匀性，使加热器面积大于衬底面积。但这样就会存在两个问题：第一，加热面积虽然大于衬底面积，但加热器本身就是中央区温度高于边缘温度，这样就容易造成衬底加热不均匀，尤其在高温(T≥600℃)时，中心和边缘的温差会使玻璃发生中心凸起、边缘下坠的形变，影响最终器件结构；第二，加热器位于衬底上方，但薄膜沉积位置在衬底下方，普通玻璃也存在一定厚度约(2～3mm)，这样就造成了热量的浪费，同时下方温度达不到理想温度时上方就已经发生形变。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种蒸镀装置，以解决衬底加热不均匀、热量浪费的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括旋转部件1、位于真空腔体内的第一加热器31和第二加热器32，所述第一加热器31和所述第二加热器32位于不同的平面上，所述第一加热器31与第二加热器32连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体2的空间，所述旋转部件1用于带动所述第一加热器31和第二加热器32旋转。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一加热器31和所述第二加热器32通过侧边连接，所述第二加热器32的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的相对两侧。

在本实用新型的一些实施例中，所述第二加热器32的数量为四块，四块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的周围。

在本实用新型的一些实施例中，各个相邻的所述第二加热器32的边缘依次连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述第二加热器32呈圆形。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一加热器31与所述第二加热器32的夹角为45-135°。

在本实用新型的一些实施例中，所述旋转部件1用于带动所述第一加热器31、第二加热器32以及位于所述第一加热器31下方的待加热物体2一起旋转。