[实用新型]一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构

摘要

本实用新型涉及芯片制备技术领域，且公开了一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，包括反应室本体，所述反应室本体的上表面开设有搭接槽，所述搭接槽的内部与反应室本体的内部连通，所述搭接槽的内部滑动连接有盖板，所述盖板的内部固定插接有电浆管，所述反应室本体内侧壁的底部开设有固定槽。该蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，通过压环对固定块进行抵压，使第一限位杆和第二限位杆方便在第二弹簧的作用下对固定块和压环进行固定，达到固定压环的作用，利用滑块方便将第一限位杆和第二限位杆移出第一限位槽和第二限位槽，起到方便将压环进行更换的作用，减少更换压环的时间，达到提高生产效率的效果。

主权项

1.一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，包括反应室本体(1)，其特征在于：所述反应室本体(1)的上表面开设有搭接槽(2)，所述搭接槽(2)的内部与反应室本体(1)的内部连通，所述搭接槽(2)的内部滑动连接有盖板(3)，所述盖板(3)的内部固定插接有电浆管(4)，所述反应室本体(1)内侧壁的底部开设有固定槽(5)，所述固定槽(5)的内部与反应室本体(1)的下方连通，所述固定槽(5)的顶部内壁开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的顶部内壁固定连接有第一弹簧(7)，所述第一弹簧(7)远离活动槽(6)内壁的一端固定连接有固定块(8)，所述固定块(8)远离第一弹簧(7)的一侧面搭接有压环(9)，所述压环(9)的内侧壁固定连接有承托板(10)，所述承托板(10)的上表面开设有通槽，所述承托板(10)的上表面搭接有晶圆(11)，所述承托板(10)的下表面固定连接有负极板(12)，所述固定块(8)远离承托板(10)的一侧面开设有第一限位槽(13)，所述压环(9)远离承托板(10)的一侧面开设有第二限位槽(14)，所述反应室本体(1)的两侧外壁开设有安装块(15)，所述安装块(15)的内部开设有安装槽(16)，所述安装槽(16)内壁的顶部和底部均开设有滑槽(17)，所述安装槽(16)靠近压环(9)一侧内壁的顶部和底部均开设有通口，且通口的内部分别与活动槽(6)和固定槽(5)内部连通，所述安装槽(16)远离压环(9)的一侧面固定连接有第二弹簧(18)，所述第二弹簧(18)远离安装槽(16)内壁的一端固定连接有安装板(19)，所述安装板(19)的上表面和下表面均固定连接有滑块(20)，所述滑块(20)远离安装板(19)的一侧穿过滑槽(17)的内部并延伸至安装块(15)的外部，所述安装板(19)远离第二弹簧(18)一侧面的顶部和底部分别固定连接有第一限位杆(21)和第二限位杆(22)，所述第一限位杆(21)和第二限位杆(22)远离安装板(19)的一端分别穿过通口的内部并滑动连接在第一限位槽(13)和第二限位槽(14)的内部。