[实用新型]一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构

权利要求书

1.一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，包括反应室本体(1)，其特征在于：所述反应室本体(1)的上表面开设有搭接槽(2)，所述搭接槽(2)的内部与反应室本体(1)的内部连通，所述搭接槽(2)的内部滑动连接有盖板(3)，所述盖板(3)的内部固定插接有电浆管(4)，所述反应室本体(1)内侧壁的底部开设有固定槽(5)，所述固定槽(5)的内部与反应室本体(1)的下方连通，所述固定槽(5)的顶部内壁开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的顶部内壁固定连接有第一弹簧(7)，所述第一弹簧(7)远离活动槽(6)内壁的一端固定连接有固定块(8)，所述固定块(8)远离第一弹簧(7)的一侧面搭接有压环(9)，所述压环(9)的内侧壁固定连接有承托板(10)，所述承托板(10)的上表面开设有通槽，所述承托板(10)的上表面搭接有晶圆(11)，所述承托板(10)的下表面固定连接有负极板(12)，所述固定块(8)远离承托板(10)的一侧面开设有第一限位槽(13)，所述压环(9)远离承托板(10)的一侧面开设有第二限位槽(14)，所述反应室本体(1)的两侧外壁开设有安装块(15)，所述安装块(15)的内部开设有安装槽(16)，所述安装槽(16)内壁的顶部和底部均开设有滑槽(17)，所述安装槽(16)靠近压环(9)一侧内壁的顶部和底部均开设有通口，且通口的内部分别与活动槽(6)和固定槽(5)内部连通，所述安装槽(16)远离压环(9)的一侧面固定连接有第二弹簧(18)，所述第二弹簧(18)远离安装槽(16)内壁的一端固定连接有安装板(19)，所述安装板(19)的上表面和下表面均固定连接有滑块(20)，所述滑块(20)远离安装板(19)的一侧穿过滑槽(17)的内部并延伸至安装块(15)的外部，所述安装板(19)远离第二弹簧(18)一侧面的顶部和底部分别固定连接有第一限位杆(21)和第二限位杆(22)，所述第一限位杆(21)和第二限位杆(22)远离安装板(19)的一端分别穿过通口的内部并滑动连接在第一限位槽(13)和第二限位槽(14)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，其特征在于：所述盖板(3)带有正电荷，且电浆管(4)的底端穿过盖板(3)的中心并延伸至盖板(3)的下方。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，其特征在于：所述活动槽(6)和固定槽(5)均为环形槽，所述固定块(8)为环形块，且固定块(8)内侧壁与活动槽(6)的内侧壁搭接。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，其特征在于：所述第一弹簧(7)的数量为四个，四个所述第一弹簧(7)的底端均匀固定连接在固定块(8)的上表面。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，其特征在于：所述第二弹簧(18)数量为四个，且每两个第二弹簧(18)为一组，两组所述第二弹簧(18)分别位于两个安装板(19)的背对面。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，其特征在于：所述第一限位杆(21)和第二限位杆(22)侧剖面的大小与第一限位槽(13)和第二限位槽(14)侧剖面的大小相适配。