[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821121039.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208485942U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 张鹏记 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸镀装置，包括：分散器、至少一个坩埚和与所述至少一个坩埚配合的至少一个加热器，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热器套在所述坩埚外面，用于对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚的内部与所述分散器的内腔连通，所述分散器上设置有与内腔连通的喷嘴。该方案通过为每一个坩埚独立配置加热器来加热蒸镀材料，并通过分散器对加热成气态的蒸镀材料进行分散处理，以完成蒸镀过程，有效解决了蒸镀材料分布不均的问题，同时可防止材料泄露，避免因温度不均造成的材料裂解变性，并且，在多个坩埚的情况下提升了蒸镀材料填充量，有利于延长蒸镀周期。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀材料 分散器 加热器 内腔连通 蒸镀装置 蒸镀 加热 加热蒸镀材料 本实用新型 独立配置 防止材料 分散处理 加热器套 温度不均 有效解决 喷嘴 填充量 变性 裂解 盛放 泄露 配合 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：分散器、至少一个坩埚和与所述至少一个坩埚配合的至少一个加热器，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热器套在所述坩埚外面，对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚的内部与所述分散器的内腔连通，所述分散器上设置有与内腔连通的喷嘴。
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