[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821121039.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208485942U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 张鹏记 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀材料 分散器 加热器 内腔连通 蒸镀装置 蒸镀 加热 加热蒸镀材料 本实用新型 独立配置 防止材料 分散处理 加热器套 温度不均 有效解决 喷嘴 填充量 变性 裂解 盛放 泄露 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：分散器、至少一个坩埚和与所述至少一个坩埚配合的至少一个加热器，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热器套在所述坩埚外面，对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚的内部与所述分散器的内腔连通，所述分散器上设置有与内腔连通的喷嘴。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚通过传输部件连接至所述分散器的内腔。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚开口端设置有外螺纹，所述传输部件一端设置有与所述外螺纹配合使用的内螺纹。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚为三个，所述加热器为三个。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，三个所述坩埚以均匀间隔连接至所述分散器。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚为圆筒状点源坩埚。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热器为与所述坩埚配合使用的圆筒状。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴为多个。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴均匀分布。
10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述分散器整体呈长条形。
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