[实用新型]一种电容器有效
| 申请号： | 201821086237.6 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN208352341U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王珺;武晨燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电容器，包括：基底；电极支撑结构，形成于基底上，电极支撑结构具有多个电容成型孔；下电极层，构成于电容成型孔的侧壁以及底面；电容介质层，形成于下电极层的表面；介质表面修复层，位于电容介质层的表面层，其中，介质表面修复层的表面具有纳米微晶结构；上电极，包括上电极层和上电极填充物，上电极层形成于在下电极层上的介质表面修复层的表面，上电极填充物填充电容成型孔，且上电极层和上电极填充物均覆盖电极支撑结构。改善电容介质层表面性质，降低电容器的漏电流，减少上电极板的阻值，改善电容器可靠性寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 电极 电极层 电容介质层 填充物 介质表面 成型孔 修复层 电极支撑结构 下电极层 电容 基底 本实用新型 可靠性寿命 表面性质 多个电容 覆盖电极 纳米微晶 支撑结构 表面层 漏电流 侧壁 底面 极板 上电 填充 | ||
【主权项】：
1.一种电容器，其特征在于，包括：基底；电极支撑结构，形成于所述基底上，所述电极支撑结构具有多个电容成型孔；下电极层，构成于所述电容成型孔的侧壁以及底面；电容介质层，形成于所述下电极层的表面；介质表面修复层，位于所述电容介质层的表面层，其中，所述介质表面修复层的表面具有纳米微晶结构；以及上电极，包括上电极层和上电极填充物，所述上电极层形成于在所述下电极层上的所述介质表面修复层的表面，所述上电极填充物填充所述电容成型孔，且所述上电极层和所述上电极填充物均覆盖所述电极支撑结构。
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