[实用新型]一种PECVD对射感应器管道的改进结构有效
| 申请号： | 201821059362.8 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208455059U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王烨明 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/511 | 分类号： | C23C16/511;C23C16/505;C23C16/513;C23C16/517 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 314516 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD对射感应器管道的改进结构，包括对射感应器管道，对射感应器管道外套设有不锈钢管，不锈钢管与对射感应器管道可拆卸连接，对射感应器管道自由端位于不锈钢管中。该PECVD对射感应器管道的改进结构方便更换对射感应器管道避免沉积物对对射感应器的影响，节省了更换时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 对射感应器 不锈钢管 改进结构 沉积物 本实用新型 拆卸连接 方便更换 管道可 自由端 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD对射感应器管道的改进结构，包括对射感应器管道，其特征在于：对射感应器管道外套设有不锈钢管，不锈钢管与对射感应器管道可拆卸连接，对射感应器管道自由端位于不锈钢管中。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
