[实用新型]一种PECVD对射感应器管道的改进结构

说明书

本实用新型公开了一种PECVD对射感应器管道的改进结构，包括对射感应器管道，对射感应器管道外套设有不锈钢管，不锈钢管与对射感应器管道可拆卸连接，对射感应器管道自由端位于不锈钢管中。该PECVD对射感应器管道的改进结构方便更换对射感应器管道避免沉积物对对射感应器的影响，节省了更换时间和成本。

技术领域：

本实用新型涉及光伏太阳能领域，具体讲是一种PECVD对射感应器管道的改进结构。

背景技术：

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。如图1所示，对射感应器管道1的固定端12通过法兰盘2固定在PECVD腔体内壁上，对射感应器管道自由端11容易形成较厚的沉积物，而对射感应器就安装在对射感应器管道的自由端端部，其中，对射感应器管道按组对称设置在PECVD腔体内，即每组对射反应器管道分别安装在腔体上部和底部，另一端分别向腔体下部和上部延伸，并在管道延伸的端部安装有对射感应器，对射感应器用来感应腔体内运行的载板，因此对射感应器延伸的端部的沉积物会影响对射感应器的光感反应，导致机器误报，从而导致工艺腔内堵板，造成硅片返工和降级，在拆卸过程中需要人员到腔体下面去拆卸，造成拆卸时又缓慢又难拆卸，更会造成在安装过程中由于不仔细而导致腔体漏氧引起工艺异常。

实用新型内容：

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种方便更换对射感应器管道避免沉积物对对射感应器的影响的PECVD对射感应器管道的改进结构，该改进结构方便更换，节省了更换对射感应器管道时间和成本。

本实用新型的技术解决方案是，提供一种PECVD对射感应器管道的改进结构，包括对射感应器管道，对射感应器管道外套设有不锈钢管，不锈钢管与对射感应器管道可拆卸连接，对射感应器管道自由端位于不锈钢管中。

采用以上结构后与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：通过在对射感应器管道上套设不锈钢管，对射感应器管道位于不锈钢管中，这样就可以将对射感应器固定在不锈钢管的端部，相当于原来的对射感应器作为一个固定座，这样当不锈钢管的端部堆积沉积物影响对射感应器正常工作时，只需要将不锈钢管拆卸，换上新的不锈钢管，再将对射感应器固定在不锈钢管上即可，避免将原来的对射感应器管道进行拆卸，简化了操作，并且，设备自带的对射感应器管道作为零部件购买，成本在一千元左右，而更换不锈钢管的成本在几十块钱。

作为优选，不锈钢管的直径略大于对射感应器管道的直径，不锈钢管固定端附近具有固定孔，通过螺丝与对射感应器管道固定。用螺丝从固定孔中穿过定顶靠在对射感应器管道上，方便拆卸。

进一步的，不锈钢管的长度为对射感应器管道长度的1.5倍以上。

附图说明：

图1为现有技术的对射感应器管道的结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明：

如图2所示，一种PECVD对射感应器管道的改进结构，包括对射感应器管道1，对射感应器管道1外套设有不锈钢管3，不锈钢管3与对射感应器管道1可拆卸连接，对射感应器管道自由端11位于不锈钢管中，最好距离不锈钢管自由端端部31具有一定距离。比较合适的，不锈钢管的长度为对射感应器管道长度的1.5倍以上，也就是说，将原结构的对射感应器管道的自由端截掉一段，截掉的长度为原长度的三分之一到二分之一，因为该自由端如果太靠近不锈钢管的自由端，对射感应器管道的自由端堆积沉积物后，多到靠近不锈钢管的端部，也会影响对射感应器的正常工作。