[实用新型]真空镀膜装置

摘要

本实用新型公开一种真空镀膜装置，包括具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构、用于对OLED基板进行承托的承托板及段位调节机构。夹持机构及承托板位于封闭空间内，夹持机构还呈一左一右的布置，承托板位于夹持机构对应上方；段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、安装在封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于导轨上的滑块，导轨至少开设有二个间隔开布置的段位孔；段拉调节杆穿置于滑块上，其第一端伸出滑块并形成操作端，第二端伸向段位孔并形成卡合端；伸缩弹簧套于段位调节杆上并呈弹性抵压于卡合端与所述滑块之间，伸缩弹簧恒具有驱使卡合端卡入段位孔内的趋势，以灵活调节OLED基板相对蒸发材料的高度。

主权项

1.一种真空镀膜装置，包括具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构及用于对OLED基板进行承托的承托板，所述夹持机构及承托板位于所述封闭空间内，所述夹持机构还沿所述真空腔体的左右方向呈一左一右的布置，所述承托板位于所述夹持机构对应的上方，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括段位调节机构，所述段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、沿所述真空腔体的上下方向安装在所述封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于所述导轨上的滑块，所述导轨至少开设有二个沿所述真空腔体的上下方向呈间隔开布置的段位孔，所述段拉调节杆沿所述真空腔体的左右方向穿置于所述滑块上，所述段位调节杆的第一端朝所述封闭空间的中心处伸出所述滑块并形成操作端，所述段位调节杆的第二端伸向所述段位孔并形成卡合端，所述伸缩弹簧套于所述段位调节杆上并呈弹性地抵压于所述卡合端与所述滑块之间，所述伸缩弹簧恒具有驱使所述卡合端卡入所述段位孔内的趋势。