[实用新型]真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开一种真空镀膜装置，包括具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构、用于对OLED基板进行承托的承托板及段位调节机构。夹持机构及承托板位于封闭空间内，夹持机构还呈一左一右的布置，承托板位于夹持机构对应上方；段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、安装在封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于导轨上的滑块，导轨至少开设有二个间隔开布置的段位孔；段拉调节杆穿置于滑块上，其第一端伸出滑块并形成操作端，第二端伸向段位孔并形成卡合端；伸缩弹簧套于段位调节杆上并呈弹性抵压于卡合端与所述滑块之间，伸缩弹簧恒具有驱使卡合端卡入段位孔内的趋势，以灵活调节OLED基板相对蒸发材料的高度。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

随着科技的不断进步和经济的不断发展，为电子产品的发展提供一个良好的平台，促使电子产品朝高质量、高精度及高性能的目标发展。其中，OLED(英文全称：OrganicLight-Emitting Diode，中文名称：有机发光二极管)就是诸多电子产品之一种。

OLED因为具备轻薄、省电等特性，因此在显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此可以说，OLED是未来在显示技术中一种新的发展趋势。

其中，对于OLED来说，其制备离不开有机薄膜的生成，现有最成熟的技术就是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。

但是，现有用于对OLED进行蒸镀的装置存在的缺陷是：由于真空腔体内的承托板与真空腔体的侧壁固定的，故OLED基板相对蒸发材料的高度不可调，故只能适用一种尺寸规格的OLED基板的蒸镀，对于其它尺寸规格的OLED基板，因与蒸发材料高度位置不可调而蒸镀效果不好。

因此，急需要一种通用性好且确保蒸镀效果的真空镀膜装置来克服上述的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种通用性好且确保蒸镀效果的真空镀膜装置。

为实现上述的目的，本实用新型提供了一种真空镀膜装置，包括段位调节机构、具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构及用于对OLED基板进行承托的承托板。所述夹持机构及承托板位于所述封闭空间内，所述夹持机构还沿所述真空腔体的左右方向呈一左一右的布置，所述承托板位于所述夹持机构对应的上方；所述段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、沿所述真空腔体的上下方向安装在所述封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于所述导轨上的滑块，所述导轨至少开设有二个沿所述真空腔体的上下方向呈间隔开布置的段位孔，所述段拉调节杆沿所述真空腔体的左右方向穿置于所述滑块上，所述段位调节杆的第一端朝所述封闭空间的中心处伸出所述滑块并形成操作端，所述段位调节杆的第二端伸向所述段位孔并形成卡合端，所述伸缩弹簧套于所述段位调节杆上并呈弹性地抵压于所述卡合端与所述滑块之间，所述伸缩弹簧恒具有驱使所述卡合端卡入所述段位孔内的趋势。

较佳地，所述段位调节杆包含同轴布置的第一圆柱段、第二圆柱段及第三圆柱段，所述第一圆柱段及第三圆柱段的直径各大于所述第二圆柱段的直径，所述伸缩弹簧套于所述第二圆柱段上，且所述伸缩弹簧呈弹性地抵压于所述第一圆柱段的端面与所述滑块之间，所述第一圆柱段还与所述第二圆柱段构成一体式结构，所述卡合端形成于所述第一圆柱段上，所述操作端形成于所述第三圆柱段上。