[实用新型]一种高真空样品台随动挡板

摘要

本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，涉及一种高真空设备技术领域。该实用新型包括样品拖挡板和立柱，立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴。本实用新型结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

主权项

1.一种高真空样品台随动挡板，包括样品拖挡板和设置在所述样品拖挡板上端的立柱，其特征在于，所述立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，所述电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，所述电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，所述电机上固定板通过所述第一电机固定板支柱、所述第二电机固定板支柱、所述第三电机固定板支柱、所述第四电机固定板支柱与所述电机下固定板固定连接，所述驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴，所述电机上固定板上端设置有所述减速电机，所述联轴器位于所述电机上固定板和所述电机下固定板之间，所述电机下固定板下端设置有所述直接转轴，所述减速电机通过所述联轴器与所述直接转轴转动连接，所述直接转轴通过设置在其下方的所述样品台转动方轴与所述挡板驱动轴连接，所述挡板驱动轴与所述挡板连接。