[实用新型]一种高真空样品台随动挡板

说明书

本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，涉及一种高真空设备技术领域。该实用新型包括样品拖挡板和立柱，立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴。本实用新型结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

技术领域

本实用新型涉及一种高真空设备技术领域，特别是涉及一种高真空样品台随动挡板。

背景技术

现有样品台挡板结构复杂，成本过高，挡板高度固定。

实用新型内容

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，使其结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，包括样品拖挡板和设置在所述样品拖挡板上端的立柱，其中，所述立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，所述电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，所述电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，所述电机上固定板通过所述第一电机固定板支柱、所述第二电机固定板支柱、所述第三电机固定板支柱、所述第四电机固定板支柱与所述电机下固定板固定连接，所述驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴，所述电机上固定板上端设置有所述减速电机，所述联轴器位于所述电机上固定板和所述电机下固定板之间，所述电机下固定板下端设置有所述直接转轴，所述减速电机通过所述联轴器与所述直接转轴转动连接(具体如何连接通过紧定螺钉固定)，所述直接转轴通过设置在其下方的所述样品台转动方轴与所述挡板驱动轴连接(具体如何连接方轴与方孔间隙配合)，所述挡板驱动轴与所述挡板连接。

优选的，所述挡板驱动轴下端连接有深沟球轴承，所述深沟球轴承通过设置在其上的挡板轴承套与所述挡板转动连接(具体如何连接螺钉固定连接)。

优选的，所述电机支架侧端设置有接触开关架，所述接触开关架上设置有接触开关。

优选的，所述挡板驱动轴与所述挡板之间通过挡圈连接。

优选的，所述联轴器上设置有限位柱，所述限位柱位于所述电机下固定板的上方。

优选的，所述减速电机的型号为ZGA37RG627i。

优选的，所述接触开关的型号为XSS-5GL。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

附图说明

图1是本实用新型的实施例剖面结构示意图；

图2是本实用新型的实施例整体结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图与实例对本实用新型作进一步详细说明，但所举实例不作为对本实用新型的限定。