[实用新型]一种栏具回流装置有效
| 申请号： | 201821011989.6 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN208385371U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 申兵兵;王敬苗 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 金海;周放 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种栏具回流装置，其包括回流框架、栏具输出单元、栏具输入单元、吊运小车以及控制器，栏具输入单元设置在回流框架的第一端，用于向第一端内输入栏具；栏具输出单元设置在回流框架的第二端，用于从第二端内输出栏具；吊运小车设置在回流框架内，并能够在回流框架内移动；控制器能够控制吊运小车在第一端与第二端之间往复运动；吊运小车上设置有用于与栏具相连接的固定结构。本实用新型的栏具回流装置，其能够实现栏具的自动循环搬运，而无需人工对栏具进行搬运，从而使得栏具的搬运较为省力。 | ||
| 搜索关键词： | 吊运 回流装置 小车 第一端 搬运 本实用新型 输出单元 输入单元 控制器 固定结构 自动循环 输入栏 省力 输出 移动 | ||
【主权项】：
1.一种栏具回流装置，其特征在于，其包括回流框架、栏具输出单元、栏具输入单元、吊运小车以及控制器，所述栏具输入单元设置在所述回流框架的第一端，用于向所述第一端内输入栏具；所述栏具输出单元设置在所述回流框架的第二端，用于从所述第二端内输出栏具；所述吊运小车设置在所述回流框架内，并能够在所述回流框架内移动；所述控制器能够控制所述吊运小车在所述第一端与所述第二端之间往复运动；所述吊运小车上设置有用于与所述栏具相连接的固定结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
