[实用新型]一种用于微型发光二极管的转移头阵列

摘要

本实用新型公开了一种用于微型发光二极管的转移头阵列，包括基板本体、凸起结构、聚合物真空吸盘、通孔、通孔阀门、微型发光二极管、第一基板、第二基板；其中：所述凸起结构从基板本体凸出，聚合物真空吸盘覆盖于所述凸起结构的表面，基板本体内设有通孔，所述通孔从所述基板本体延伸至所述凸起结构表面，并且贯穿于所述聚合物真空吸盘，在所述基板本体上形成阵列，所述基板本体的通孔位置上方设置有可开关的通孔阀门。本实用新型的优点在于：该转移头阵列采用真空吸附原理对微型发光二极管进行转移，由于聚合物真空吸盘的缓冲作用，对微型发光二极管不会造成损伤，而且由于聚合物真空吸盘大的吸附力，可以提升高质量快速转移微元件的可靠性。

主权项

1.一种用于微型发光二极管的转移头阵列，包括基板本体（101）、凸起结构（102）、聚合物真空吸盘（103）、通孔（104）、通孔阀门（105）、微型发光二极管（106）、第一基板（107）；其特征在于：所述凸起结构（102）从基板本体（101）凸出，聚合物真空吸盘（103）覆盖于所述凸起结构（102）的表面，基板本体（101）内设有通孔（104），所述通孔（104）从所述基板本体（101）延伸至所述凸起结构（102）表面，并且贯穿于所述聚合物真空吸盘（103），在所述基板本体（101）上形成阵列，所述基板本体（101）的通孔位置上方设置有可开关的通孔阀门（105），所述基板本体（101）下方设有第一基板（107），第一基板（107）上放置有至少一个微型发光二极管（106），第一基板（107）一侧设有第二基板（108），第二基板（108）作为接收基板。