[实用新型]一种用于微型发光二极管的转移头阵列有效
申请号: | 201820983047.8 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN208538814U | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 武良文 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 330000 江西省南昌市南昌高新技*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 微型发光二极管 基板本体 真空吸盘 聚合物 通孔 凸起结构 本实用新型 阀门 真空吸附原理 第二基板 第一基板 缓冲作用 快速转移 通孔位置 凸出 可开关 微元件 吸附力 损伤 体内 贯穿 延伸 覆盖 | ||
1.一种用于微型发光二极管的转移头阵列,包括基板本体(101)、凸起结构(102)、聚合物真空吸盘(103)、通孔(104)、通孔阀门(105)、微型发光二极管(106)、第一基板(107);其特征在于:所述凸起结构(102)从基板本体(101)凸出,聚合物真空吸盘(103)覆盖于所述凸起结构(102)的表面,基板本体(101)内设有通孔(104),所述通孔(104)从所述基板本体(101)延伸至所述凸起结构(102)表面,并且贯穿于所述聚合物真空吸盘(103),在所述基板本体(101)上形成阵列,所述基板本体(101)的通孔位置上方设置有可开关的通孔阀门(105),所述基板本体(101)下方设有第一基板(107),第一基板(107)上放置有至少一个微型发光二极管(106),第一基板(107)一侧设有第二基板(108),第二基板(108)作为接收基板。
2.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)至少覆盖于凸起结构(102)的部份表面。
3.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)的吸盘面积小于微型发光二极管(106)的表面积。
4.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)的厚度为微米量级,所述通孔(104)的直径为微米量级。
5.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述基板本体(101)材料采用硅、陶瓷、金属或聚合物。
6.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)采用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物材料。
7.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)可以选用扁平吸盘、椭圆吸盘或波纹吸盘。
8.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述通孔(104)的截面形状可以选用圆形、椭圆形、正方形、矩形或正多边形。
9.根据权利要求8所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述通孔(104)的截面形状采用圆形,圆形直径为5~100μm。
10.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述凸起结构(102)下表面的形状可以选用圆形、椭圆形、正方形、矩形、正多边形。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司,未经江西兆驰半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820983047.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于电池片的上料输送装置
- 下一篇:一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造