[实用新型]一种用于微型发光二极管的转移头阵列有效

专利信息
申请号: 201820983047.8 申请日: 2018-06-25
公开(公告)号: CN208538814U 公开(公告)日: 2019-02-22
发明(设计)人: 武良文 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 330000 江西省南昌市南昌高新技*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 微型发光二极管 基板本体 真空吸盘 聚合物 通孔 凸起结构 本实用新型 阀门 真空吸附原理 第二基板 第一基板 缓冲作用 快速转移 通孔位置 凸出 可开关 微元件 吸附力 损伤 体内 贯穿 延伸 覆盖
【权利要求书】:

1.一种用于微型发光二极管的转移头阵列,包括基板本体(101)、凸起结构(102)、聚合物真空吸盘(103)、通孔(104)、通孔阀门(105)、微型发光二极管(106)、第一基板(107);其特征在于:所述凸起结构(102)从基板本体(101)凸出,聚合物真空吸盘(103)覆盖于所述凸起结构(102)的表面,基板本体(101)内设有通孔(104),所述通孔(104)从所述基板本体(101)延伸至所述凸起结构(102)表面,并且贯穿于所述聚合物真空吸盘(103),在所述基板本体(101)上形成阵列,所述基板本体(101)的通孔位置上方设置有可开关的通孔阀门(105),所述基板本体(101)下方设有第一基板(107),第一基板(107)上放置有至少一个微型发光二极管(106),第一基板(107)一侧设有第二基板(108),第二基板(108)作为接收基板。

2.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)至少覆盖于凸起结构(102)的部份表面。

3.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)的吸盘面积小于微型发光二极管(106)的表面积。

4.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)的厚度为微米量级,所述通孔(104)的直径为微米量级。

5.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述基板本体(101)材料采用硅、陶瓷、金属或聚合物。

6.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)采用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物材料。

7.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述聚合物真空吸盘(103)可以选用扁平吸盘、椭圆吸盘或波纹吸盘。

8.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述通孔(104)的截面形状可以选用圆形、椭圆形、正方形、矩形或正多边形。

9.根据权利要求8所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述通孔(104)的截面形状采用圆形,圆形直径为5~100μm。

10.根据权利要求1所述的一种用于微型发光二极管的转移头阵列,其特征在于:所述凸起结构(102)下表面的形状可以选用圆形、椭圆形、正方形、矩形、正多边形。

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