[实用新型]晶圆平边识别纠偏装置有效
| 申请号： | 201820879100.X | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN209104119U | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 陈朝星 | 申请（专利权）人： | 上海福赛特机器人有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 庞红芳 |
| 地址： | 200230 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆平边识别纠偏装置，包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。本实用新型可以完成晶圆平边的识别和纠偏，大大降低人工摆放晶圆出错的几率，降低产品的损耗，提高生产效率，降低劳动力成本及生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 导正机构 平边位置 旋转机构 本实用新型 纠偏装置 预设位置 导正 平边 旋转控制组件 承载 劳动力成本 驱动机构 摄像机构 生产效率 图像识别 圆平边 纠偏 种晶 出错 生产成本 转动 偏离 摆放 图像 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆平边识别纠偏装置，其特征在于：所述晶圆平边识别纠偏装置包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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