[实用新型]一种3D测量激光显微镜有效
| 申请号： | 201820868791.3 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN208398798U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陈宏成 | 申请（专利权）人： | 无锡联发易创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种3D测量激光显微镜，激光显微镜的光学系统由布置在物镜上方的激光共焦系统、彩色成像系统以及扫描仪系统组成，激光共焦系统，其第一光路上设置有共焦针孔和位于共焦针孔后方的光电倍增管，从物镜返回的光线通过共焦针孔到达光电倍增管；彩色成像系统，其第二光路上设置有白光光源，其第三光路上设置有获取样品色彩信息的相机，白光光源位于第二光路的末端，相机位于第三光路的末端；扫描仪系统，其第四光路上设置有激光光源和位置相对物镜瞳镜共轭的X‑Y扫描仪；其中，第一光路、第二光路、第三光路和第四光路的一端均通过物镜。本实用新型能够同时获取样品的色彩信息、高度信息，并获得高分辨率的观察图像。 | ||
| 搜索关键词： | 光路 物镜 针孔 激光显微镜 共焦 彩色成像系统 本实用新型 光电倍增管 扫描仪系统 白光光源 共焦系统 激光 相机 高度信息 高分辨率 观察图像 光线通过 光学系统 激光光源 色彩信息 位置相对 样品色彩 扫描仪 共轭 返回 | ||
【主权项】：
1.一种3D测量激光显微镜，其特征在于，所述激光显微镜的光学系统由布置在物镜上方的激光共焦系统、彩色成像系统以及扫描仪系统组成，激光共焦系统，其第一光路上设置有共焦针孔和位于所述共焦针孔后方的光电倍增管，从物镜返回的光线通过所述共焦针孔到达所述光电倍增管；彩色成像系统，其第二光路上设置有白光光源，其第三光路上设置有获取样品色彩信息的相机，所述白光光源位于所述第二光路的末端，所述相机位于所述第三光路的末端；扫描仪系统，其第四光路上设置有激光光源和位置相对物镜瞳镜共轭的X‑Y扫描仪；其中，所述第一光路、所述第二光路、所述第三光路和所述第四光路的一端均通过所述物镜。
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