[实用新型]一种自动光刻机

摘要

本实用新型公开了一种自动光刻机，它属于光刻领域，包括台架，台架上设有步进转动的转盘，转盘四周均布有若干工装台，工装台上固定有若干工装；台架后方设有曝光机，曝光机设置在转盘旋转停止的工装上方；台架一侧设有支架，支架末端伸入到台架前方，支架上设有显微放大镜和显示屏，显微放大镜和显示屏设置在台架前方转盘旋转停止的工装上方；工装包括底座，底座与工装台连接，底座内部设为中空结构且与外侧通过进气阀门和出气阀门连通，底座上方中心位置设有若干气孔与中空结构连通，若干气孔周围设有若干条密封槽，密封槽内设有密封圈，硅片设置在若干所述气孔上方；转盘中心设有真空发生装置，真空发生装置与工装上的进气阀门和出气阀门连通。

主权项

1.一种自动光刻机，其特征在于：包括台架，所述台架上设有可步进转动的转盘，所述转盘四周均布有若干工装台，所述工装台上固定有若干工装；所述台架后方设有曝光机，所述曝光机设置在所述转盘旋转停止的工装上方；所述台架一侧设有支架，所述支架末端伸入到台架前方，所述支架上设有显微放大镜和显示屏，所述显微放大镜和显示屏设置在台架前方所述转盘旋转停止的工装上方；所述工装包括底座，所述底座与工装台连接，所述底座内部设为中空结构且与外侧通过进气阀门和出气阀门连通，所述底座上方中心位置设有若干气孔与所述中空结构连通，若干所述气孔周围设有若干条密封槽，所述密封槽内设有密封圈，硅片设置在若干所述气孔上方；所述转盘中心设有真空发生装置，所述真空发生装置与所述工装上的进气阀门和出气阀门连通。