[实用新型]一种圆度检测装置有效
| 申请号： | 201820860325.0 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN208419909U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 戴杨;杨波;毛遂;刘安 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B5/20 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 钟胜光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆度检测装置，本实用新型属于半导体晶圆加工领域，包括带有显示屏的放大镜，放大镜的镜头下设置有旋转检测盘，所述旋转检测盘的旋转平面透明，且在旋转检测盘的旋转径向上设置有透明刻度板，透明刻度板上设置有至少两个位置可调的光源，所述刻度板随旋转检测盘的旋转而转动，提供一种能够简单、快捷且准确地检测激光点圆度的工具。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转检测 圆度检测装置 本实用新型 透明刻度板 放大镜 半导体晶圆 检测激光 位置可调 向上设置 旋转平面 点圆度 刻度板 光源 显示屏 转动 镜头 透明 加工 | ||
【主权项】：
1.一种圆度检测装置，其特征在于包括：放大镜，其中放大镜的镜头下设置有旋转检测盘(1)，所述旋转检测盘(1)的旋转平面透明，且在旋转检测盘(1)的旋转径向上设置有一个透明刻度板(2)，所述透明刻度板通过连接机构与旋转检测盘(1)相连接，并且可以随着所述旋转检测盘的转动而相应转动。
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