[实用新型]一种圆度检测装置

说明书

本实用新型公开了一种圆度检测装置，本实用新型属于半导体晶圆加工领域，包括带有显示屏的放大镜，放大镜的镜头下设置有旋转检测盘，所述旋转检测盘的旋转平面透明，且在旋转检测盘的旋转径向上设置有透明刻度板，透明刻度板上设置有至少两个位置可调的光源，所述刻度板随旋转检测盘的旋转而转动，提供一种能够简单、快捷且准确地检测激光点圆度的工具。

技术领域

本实用新型属于半导体晶圆加工领域，具体涉及一种圆度检测装置。

背景技术

晶圆加工包括晶棒制造和晶片制造两个主要步骤，这两个步骤具体又可包括以下几道主要工序：晶棒成长、晶棒裁切与检测、外径研磨、切片、圆边、表层研磨、蚀刻、去疵、抛光、清洗、检验和包装。晶圆加工是精度要求极高的工艺过程，而采用激光加工在目前的工艺过程中可以达到较高的精度，激光加工使用的激光工具需要有很好的能量均匀度才能实现好的加工效果，为此，在使用激光工具进行加工前，先进行针对于激光工具的能量均匀度测试是必要的。常规的检查测试方法是使用激光工具在样板上刻蚀一个激光点，然后检测激光点的圆度是否符合要求，即可判断激光工具的能量均匀度是否达标。然而目前对于激光点圆度的常规检测方式是通过人工直接观察或者使用尺量工具等基于人工的方式。这样的圆度测试方法效果始终不甚理想，其原因主要是由于人工难以确保精度和统一性，因此往往相对不够可靠；另外样板测量无法避免工具稳定性的影响；最后人工测量方法也不便于利用新的技术例如智能系统。如果为检测激光点圆度专门设计图像识别系统，不仅成本较高，且无法集成于旧系统和PC机，同时定制系统的基础构架复杂，所需要的定制时间较长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够简单、快捷且准确地检测激光点圆度的工具。

本实用新型的圆度检测装置，其特征在于包括：带有显示屏的放大镜，放大镜的镜头下设置有旋转检测盘，旋转检测盘的画面通过放大镜的镜头放大显示在显示屏上，便于直接观察。所述旋转检测盘的旋转平面透明，且在旋转检测盘的旋转径向上设置有透明刻度板。将待检测的激光点放入圆度检测装置的旋转检测盘下方，并且将激光点的中心与旋转检测盘的旋转圆心对齐，透过旋转检测盘透明的旋转平面可以观察到激光点。透明刻度板上设置有至少两个位置可调的光源，两个光源距离旋转检测盘旋转圆心的距离可以根据测试要求调整变化，所述刻度板随旋转检测盘的旋转而转动。开启圆度检测装置使两个光源亮起并且旋转检测盘使其转动，便会因为视觉残留产生两个光环。通过这两个光环来观察待检测的激光点即可很直观地观察出激光点的圆度是否符合要求。

优选的，所述旋转检测盘为由驱动齿轮带动的透明齿轮，透明齿轮可以展示出置于其下的待检测激光点，透明刻度板设置在透明齿轮上、穿过透明齿轮的圆心，在透明齿轮转动时透明刻度板随之转动，使得其上的光源形成直观可见的正圆形判定边界。

优选的，所述旋转检测盘为由驱动齿轮带动的环状外齿轮，环状外齿轮中间部分镂空，刚好可以透出设置于其下的待检测激光点，环状外齿轮外缘的齿轮与驱动齿轮啮合，所述透明刻度板设置在环状外齿轮上、穿过环状外齿轮的圆心，在驱动齿轮的带动下环状外齿轮转动，其上的透明刻度板的光源形成直观可见的正圆形判定边界。

所述旋转检测盘和驱动齿轮设置在安装板上，所述安装板用于安装透明齿轮的位置底部镂空，同样的镂空部分可以透出设置于其下的待检测激光点。

所述旋转检测盘为由驱动齿轮带动的环状内齿轮，环状外齿轮中间部分镂空，刚好可以透出设置于其下的待检测激光点，内齿轮可以采用嵌入式的设计将环状内齿轮设置在中间有对应镂空的安装盘等载体上，驱动齿轮设置在环状内齿轮的内侧且其边缘的轮齿与环状内齿轮的轮齿啮合，所述透明刻度板设置在环状内齿轮上、且穿过环状外齿轮的圆心。

所述透明刻度板为条状且带有刻度的透明尺，所述位置可调的光源设置在透明尺的尺身上。

进一步的，所述光源为LED光源灯，LED灯是冷光灯，衰变度高不易散射，亮度稳定且不刺眼，色彩明显，适合用于作为光影残留的光源。