[实用新型]一种圆度检测装置有效

专利信息
申请号: 201820860325.0 申请日: 2018-06-05
公开(公告)号: CN208419909U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 戴杨;杨波;毛遂;刘安 申请(专利权)人: 英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01B5/20
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 钟胜光
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 旋转检测 圆度检测装置 本实用新型 透明刻度板 放大镜 半导体晶圆 检测激光 位置可调 向上设置 旋转平面 点圆度 刻度板 光源 显示屏 转动 镜头 透明 加工
【权利要求书】:

1.一种圆度检测装置,其特征在于包括:

放大镜,其中放大镜的镜头下设置有旋转检测盘(1),所述旋转检测盘(1)的旋转平面透明,且在旋转检测盘(1)的旋转径向上设置有一个透明刻度板(2),所述透明刻度板通过连接机构与旋转检测盘(1)相连接,并且可以随着所述旋转检测盘的转动而相应转动。

2.如权利要求1所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述旋转检测盘(1)为由驱动齿轮(4)带动的透明齿轮,透明刻度板(2)设置在透明齿轮上、穿过透明齿轮的圆心。

3.如权利要求1所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述旋转检测盘(1)为由驱动齿轮(4)带动的环状外齿轮,环状外齿轮外缘的齿轮与驱动齿轮(4)啮合,所述透明刻度板(2)设置在环状外齿轮上、且穿过环状外齿轮的圆心。

4.如权利要求2所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述旋转检测盘(1)和驱动齿轮(4)设置在安装板(5)上,所述安装板(5)用于安装透明齿轮的位置底部镂空。

5.如权利要求1所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述旋转检测盘(1)为由驱动齿轮(4)带动的环状内齿轮,驱动齿轮(4)设置在环状内齿轮的内侧且其轮齿与环状内齿轮的轮齿啮合,所述透明刻度板(2)设置在环状内齿轮上、穿过环状内齿轮的圆心。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述透明刻度板(2)上还以可调节的方式设置有至少两个光源(3),所述光源(3)为LED灯。

7.如权利要求6所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:所述透明刻度板(2)为条状且带有刻度的透明尺,所述光源(3)位置可调地设置在透明尺的尺身上。

8.如权利要求1所述的一种圆度检测装置,其特征在于包括:旋转检测盘(1)为正圆形,旋转检测盘(1)上有且仅有一个透明刻度板(2),且透明刻度板(2)的长度与旋转检测盘(1)的直径等长,透明刻度板(2)上可移动地设置有至少两个不同颜色的LED灯作为光源(3)。

9.如权利要求8所述的一种圆度检测装置,其中所述放大镜还具有显示屏,所述显示屏与放大镜电连接,可以以放大的方式显示放大镜的画面。

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