[实用新型]环形单晶无机非金属部件的制作设备及飞轮

摘要

本实用新型提供环形单晶无机非金属部件的制作设备及飞轮，其中制作设备包括：制备容器、基体和基体控制组件；制备容器包括微波室和等离子室，微波室与等离子室隔离，微波室内设置有微波发生器，等离子室设置有进气口和真空装置，真空装置用于将等离子室抽真空，并控制等离子室内的气压，从进气口进入等离子室中的原料气体能够在微波激励下形成等离子体；基体设置于等离子室内的等离子体分布区域，基体控制组件用于控制基体旋转，以使等离子体沉积于基体的外圆周面形成环形单晶无机非金属部件。该环形单晶无机非金属部件具备高硬度、高导热性以及低热膨胀系数等性能，可以作为飞轮使用于飞轮储能器，从而使得高储能密度的飞轮制作成为可能。

主权项

1.一种环形单晶无机非金属部件的制作设备，其特征在于，用于制作环形单晶无机非金属部件，所述制作设备包括：制备容器、基体和基体控制组件；所述制备容器包括微波室和等离子室，所述微波室与所述等离子室隔离，所述微波室内设置有微波发生器，所述等离子室设置有进气口和真空装置，所述真空装置用于将所述等离子室抽真空，并控制所述等离子室内的气压，从所述进气口进入所述等离子室中的原料气体能够在微波激励下形成等离子体；所述基体设置于所述等离子室内的等离子体分布区域，所述基体控制组件用于控制所述基体旋转，以使等离子体沉积于所述基体的外圆周面形成环形单晶无机非金属部件。