[实用新型]固体金属有机化合物串联式温差使用系统

摘要

本实用新型涉及固体金属有机化合物串联式温差使用系统，包含第一瓶体，具有第一进气管路和第一出气管路，第一出气管路连接金属有机化学气相沉积设备；第二瓶体，具有第二进气管路和第二出气管路；三通阀，具有第一连接端、第二连接端和第三连接端，第一连接端连接金属有机化学气相沉积设备，第二连接端连接第二瓶体的第二进气管路，第三连接端连接第一瓶体的第一进气管路以及第二瓶体的第二出气管路。三通阀选择性地使第一瓶体或第一瓶体及第二瓶体中固体金属有机化合物的蒸气随载气流入金属有机化学气相沉积的制程中，提高大型设备固体MO源消耗率；形成串联式温差系统，第二瓶体可配置为大容积瓶体，降低制造MO源时的包装成本。

主权项

1.固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：包含：第一瓶体，具有第一进气管路和第一出气管路，第一出气管路连接至金属有机化学气相沉积设备；第二瓶体，具有第二进气管路和第二出气管路；三通阀，具有第一连接端、第二连接端以及第三连接端，第一连接端连接至金属有机化学气相沉积设备，第二连接端连接至第二瓶体的第二进气管路，第三连接端连接至第一瓶体的第一进气管路以及第二瓶体的第二出气管路。