[实用新型]光罩托架有效
| 申请号： | 201820804445.9 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208239058U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 赵子翔;庄奎乾;熊波;崔兴永 | 申请（专利权）人： | 深圳市科利德光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市龙岗区龙岗街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。本实用新型实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，托架单体的边框上固定有遮光片，有效避免两个相邻嵌套连接的托架单体之间的间隙产生漏光，提升检验效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 托架 边框 嵌套连接 光罩 本实用新型 内环面 遮光片 匹配 降低设备 外围轮廓 外围形状 准确度 外边缘 漏光 检验 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种光罩托架，其特征在于，所述光罩托架包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。
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