[实用新型]光罩托架

说明书

本实用新型实施例提供一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。本实用新型实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，托架单体的边框上固定有遮光片，有效避免两个相邻嵌套连接的托架单体之间的间隙产生漏光，提升检验效率和准确度。

技术领域

本实用新型实施例涉及光罩检验设备技术领域，尤其涉及一种光罩托架。

背景技术

集成电路制程中会大量应用到光罩，光罩的产生及对此类光罩的后续光学检验已成为半导体集成电路生产中的标准步骤。目前，对光罩进行检验的措施主要是将光罩放置在用于检验的光桌上，位于光桌下方的光源发出的光线透过光桌照射于光罩上，以对光罩进行相应的检验处理。现有技术中，针对不同尺寸的光罩均配备有对应尺寸的光桌，这导致设备成本过高，经济效率低下；而若要采用同一光桌检验不同尺寸的光罩，则只能将光桌尺寸设计得足够大，但是，大尺寸的光桌在用于检验小尺寸的光罩时，会导致光桌漏光严重，影响光罩的检验效果。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩托架，能方便地适用于检验不同尺寸的光罩。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。

进一步地，所述托架单体的边框设置有朝内环面所围成的区域内延伸形成的凸出，所述托架单体的边框的外围轮廓的对应位置处设置有与所述凸出的形状相匹配的凹陷。

进一步地，任意两个相邻嵌套连接的托架单体之间为间隙配合。

进一步地，所述托架单体的边框的靠内环面处设有内侧壁与内环面平齐的限位凸出。

进一步地，所述遮光片通过粘性材料粘贴于托架单体的边框上。

进一步地，所述遮光片为遮光布。

进一步地，所述托架单体及限位凸出均采用塑胶材质制成。

采用上述技术方案，本实用新型实施例至少具有以下有益效果：本实用新型实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，提高检验速度，并且托架单体的边框上固定有遮光片，有效遮盖住光桌及嵌套连接的托架单体之间的间隙，避免漏光，提升检验的准确度。

附图说明

图1是本实用新型光罩托架一个实施例的立体结构示意图。

图2是本实用新型光罩托架一个实施例的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。