[实用新型]光罩托架有效

专利信息
申请号: 201820804445.9 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN208239058U 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 赵子翔;庄奎乾;熊波;崔兴永 申请(专利权)人: 深圳市科利德光电材料股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 代理人: 黄莉
地址: 518118 广东省深圳市龙岗区龙岗街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 托架 边框 嵌套连接 光罩 本实用新型 内环面 遮光片 匹配 降低设备 外围轮廓 外围形状 准确度 外边缘 漏光 检验 伸出
【权利要求书】:

1.一种光罩托架,其特征在于,所述光罩托架包括多个依次嵌套连接的托架单体,每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片,每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配,除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。

2.如权利要求1所述的光罩托架,其特征在于:所述托架单体的边框设置有朝内环面所围成的区域内延伸形成的凸出,所述托架单体的边框的外围轮廓的对应位置处设置有与所述凸出的形状相匹配的凹陷。

3.如权利要求1所述的光罩托架,其特征在于:任意两个相邻嵌套连接的托架单体之间为间隙配合。

4.如权利要求1或2所述的光罩托架,其特征在于:所述托架单体的边框的靠内环面处设有内侧壁与内环面平齐的限位凸出。

5.如权利要求1所述的光罩托架,其特征在于:所述遮光片通过粘性材料粘贴于托架单体的边框上。

6.如权利要求1所述的光罩托架,其特征在于:所述遮光片为遮光布。

7.如权利要求4所述的光罩托架,其特征在于:所述托架单体及限位凸出均采用塑胶材质制成。

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