[实用新型]基于力敏感元件的双轴加速度计敏感结构有效
| 申请号： | 201820735495.6 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208766200U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨军;胡鸿 | 申请（专利权）人： | 上海肇擎传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/03 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 201707 上海市青浦区天辰*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种基于力敏感元件的双轴加速度计敏感结构，包括接口、底座、X方向质量块、Y方向质量块、X方向挠结构、Y方向挠结构、X方向力敏感元件、Y方向力敏感元件；底座与Y方向质量块通过Y方向挠结构连接，其余位置通过切缝分离；Y方向质量块与X方向质量块通过X方向挠结构进行连接，其余位置通过切缝分离；两个X方向力敏感元件两端沿Z轴横跨切槽，分别粘接固定于X方向质量块和Y方向质量块，关于Z轴对称分布；两个Y方向力敏感元件两端横跨切槽，分别粘接固定于底座和Y方向质量块，关于Z轴对称分布。本实用新型提出的双轴加速度计敏感结构，可以敏感两个方向的加速度值，具有精度高、量程大、体积小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 敏感元件 方向力 双轴加速度计 敏感结构 底座 本实用新型 力敏感元件 轴对称分布 位置通过 粘接固定 切槽 切缝 横跨 结构连接 体积小 量程 敏感 | ||
【主权项】：
1.一种基于力敏感元件的双轴加速度计敏感结构，其特征在于，所述双轴加速度计敏感结构为绕Z轴180°旋转对称的空心薄壁结构，包括：接口(10)，底座(11)，X方向质量块(31)，Y方向质量块(21)，X方向挠结构(30)，Y方向挠结构(20)，两个X方向力敏感元件(341,342)，两个Y方向力敏感元件(241,242)；敏感结构通过接口(10)固定在加速度计内；底座(11)与Y方向质量块(21)通过Y方向挠结构(20)连接，其余位置通过第一切缝(22)、第二切缝(23)分离；Y方向质量块(21)与X方向质量块(31)通过X方向挠结构(30)进行连接，其余位置通过第三切缝(32)、第四切缝(33)分离；两个X方向力敏感元件(341、342)两端沿Z轴横跨切槽(35)，分别粘接固定于X方向质量块(31)和Y方向质量块(21)，关于Z轴对称分布；两个Y方向力敏感元件(241,242)两端横跨切槽(25)，分别粘接固定于底座(11)和Y方向质量块(21)，关于Z轴对称分布。
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