[实用新型]基于微透镜阵列的等离激元光子结构大面积制备系统

摘要

基于微透镜阵列的等离激元光子结构大面积制备系统，属于纳米光子器件技术领域。采用光学加工的微透镜阵列制备等离激元共振结构的技术，光束通过透镜阵列将二维光栅结构制备在ITO基底上，旋涂金纳米颗粒溶胶并经过高温退火工艺制备得到等离激元结构。微凸透镜阵列结构中周期和微透镜的尺寸可根据需要进行调节，进而使得制备的等离激元光子结构可调，通过调整微凸透镜阵列结构整个面积可制备不同面积的等离激元光子结构。

主权项

1.基于微透镜阵列的等离激元光子结构大面积制备系统，其特征在于，包括依次序光路连接的如下设备：激光器(4)、激光扩束透镜组(5)、平凸透镜(6)、微凸透镜阵列结构(3)、带有光刻胶层的ITO(7)，激光扩束透镜组(5)依次为凹透镜和凸透镜管路连接组成；平凸透镜(6)的一面为平面，另一相对的面为凸面，凸面与激光扩束透镜组(5)的凸透镜相对光路连接；微凸透镜阵列结构(3)的ITO玻璃基底与平凸透镜(6)的平面相对，带有光刻胶层的ITO玻璃的光刻胶层与微凸透镜阵列结构(3)ITO玻璃基底上的微透镜阵列相对；微凸透镜阵列结构(3)是以ITO玻璃作为基底，在其上制备微凸透镜阵列结构。