[实用新型]一种全氮硅单晶拉晶用装置

摘要

本实用新型提供一种全氮硅单晶拉晶用装置，包括炉体，炉体内设置坩埚、导流筒和用于挂设导流筒的悬挂装置，导流筒位于坩埚的上部，炉体的顶部开设有氮气进气口，悬挂装置包括中空的悬臂和进气盘，进气盘固定连接于悬臂的底部，悬臂的一端伸出炉体，悬臂的另一端伸入炉体的炉盖下与进气盘连通，悬臂的顶部连接氩气进气管路，本实用新型的有益效果是利用氩气作为局部保护气体，氮气作为保压气体，在实现氮气代替氩气作为保护气体拉直单晶的同时也避免了氮气与单晶反应，既达到了降成本的目的，同时又保证了产品质量。

主权项

1.一种全氮硅单晶拉晶用装置，包括炉体，其特征在于：所述炉体内设置坩埚、导流筒和用于挂设所述导流筒的悬挂装置，所述导流筒位于所述坩埚的上部，所述炉体的顶部开设有氮气进气口，所述悬挂装置包括中空的悬臂和进气盘，所述进气盘固定连接于所述悬臂的底部，所述悬臂的一端伸出所述炉体，所述悬臂的另一端伸入所述炉体的炉盖下与所述进气盘连通，所述悬臂的顶部连接氩气进气管路。