[实用新型]快速冷却系统有效
| 申请号： | 201820504502.1 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN208322371U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 雷雄;邵彪;唐寅 | 申请（专利权）人： | 中芯长电半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/08 | 分类号： | B23K3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 214437 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种快速冷却系统，包括：处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置。处理设备包括处理腔室、用于承载制品的制品承载台和加热板；其中，制品承载台和加热板均位于处理腔室内；冷却装置包括气体源、气体管路和阀门，气体管路一端与气体源相连接，另一端延伸至处理腔室内；阀门设置于气体管路上；侦测装置侦测处理设备的工作状态；控制装置，与侦测装置及阀门相连接，用于根据侦测装置反馈的信号控制阀门开启或关闭。通过本实用新型的快速冷却系统，在处理设备发生故障停机时，使用非活性的冷却气体直接对高温区内的制品进行快速冷却，从而避免了制品在高温区停留过长时间导致的制品报废，提高了制品良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 处理设备 侦测装置 快速冷却系统 本实用新型 控制装置 冷却装置 气体管路 承载台 处理腔 加热板 气体源 阀门 室内 处理腔室 发生故障 阀门开启 阀门设置 快速冷却 冷却气体 信号控制 非活性 高温区 良品率 气体管 停机 侦测 报废 承载 反馈 停留 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种快速冷却系统，其特征在于，包括处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置；所述处理设备包括处理腔室、用于承载制品的制品承载台和加热板；其中，所述制品承载台和所述加热板均位于所述处理腔室内；所述冷却装置包括气体源、气体管路和阀门，所述气体管路一端与所述气体源相连接，另一端延伸至所述处理腔室内；所述阀门设置于所述气体管路上；所述侦测装置侦测所述处理设备的工作状态；所述控制装置，与所述侦测装置及所述阀门相连接，用于根据所述侦测装置反馈的信号控制所述阀门开启或关闭。
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