[实用新型]基板处理装置有效
| 申请号： | 201820501751.5 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN208584374U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 林钟逸;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板处理装置，用于进行基板的研磨工序，包括：研磨垫，其研磨基板上表面；研磨头，其具备接触研磨垫的上表面的隔膜，相对于基板进行移动，借助于此，可以获得提高研磨稳定性及研磨准确度的有利效果。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 基板处理装置 上表面 研磨垫 基板 本实用新型 研磨基板 准确度 研磨头 隔膜 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，用于进行基板的研磨工序，其特征在于，包括：研磨垫，其研磨基板的上表面；研磨头，其具备接触所述研磨垫的上表面的隔膜，相对于所述基板进行移动，所述隔膜由能够根据所述基板的表面曲折而变形的可挠性材料形成，所述隔膜向所述研磨垫传递对所述基板进行加压的加压力，在所述隔膜的上部形成有压力腔，通过调节所述压力腔的压力来调节所述加压力。
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